1、潔凈室不同氣體管道敷設(shè)應(yīng)根據(jù)設(shè)計要求，無明確要求吋，輸送干燥氣體的管道應(yīng)水平安裝；輸送潮濕氣體的管道安裝時應(yīng)有不小于相關(guān)規(guī)定的坡度，這個坡度叫冷凝水收集器。

2、潔凈室氣體管道的連接采用焊接。管道的工藝焊接應(yīng)根據(jù)《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》 (GB 50236-1998)的要求，對I、11級以及內(nèi)壁清潔度要求嚴(yán)格的單面焊焊縫打底。潔凈室管道打底后的焊縫應(yīng)及時進(jìn)行填充蓋面操作。如果是不銹鋼焊接則采用氬弧焊打底，焊縫內(nèi)側(cè)應(yīng)充氬氣保護(hù)，并在點固焊過程中同樣進(jìn)行管內(nèi)充氬氣保護(hù)措施。

3、潔凈室氣體管道與設(shè)備、閥門及其他附件應(yīng)采用法蘭連接或螺紋聯(lián)接。而且為保證潔凈室管道連接的嚴(yán)密性和管內(nèi)氣體的潔凈性，法蘭墊片和螺紋接頭的填料必須采用聚W氟乙烯板和薄膜，禁止使用鉛油麻絲等填料。

4、為了避免潔凈室受到污染，通過室內(nèi)的氣體管道的法蘭墊片或螺紋填料，還要將外露部分清潔干凈，避免積塵。

5、潔凈室氣體管道采用噴砂除鎊或酸洗、純化的碳素鋼管。管道的一般施工方法為：下料—編號一預(yù)組裝—噴砂等處理—正式安裝—充氮氣密封。通常為保證安裝后管內(nèi)不再氧化生銹，應(yīng)縮短工期，必須采取集中安裝方式，并在48小時內(nèi)分段組合安裝，充人壓力不小于0.2MPa的氮氣保護(hù)。

6、潔凈室有接地要求的氣體管道，導(dǎo)線截面應(yīng)符合設(shè)計要求，焊點必須牢固、可靠，保證法蘭間能夠良好的接觸。保證整個管路系統(tǒng)形成完整的導(dǎo)電回路，消除法蘭間墊片對系統(tǒng)的絕緣作用。